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| easyprobe8052F 单片机仿真开发系统简介 |
▲ 双CPU架构，全开放设计，不占系统资源。
▲ 完全实时仿真，最高速度可达40MHz。
▲ 轻巧实用，可以不使用仿真电缆而直接插入用户目标板，便于现场调试。
▲ 以115200bps通过RS232串口与主机通信。
▲ 支持8X31/32/51/52/54/58及78C31/32/51/52/54/58等芯片。
▲ 28kB仿真存储区，包括64kB程序存储区和64kB数据存储区。
▲ 可按下列属性进行映射：-Overlay(Internal):内部，Target(External)：外部。 | |
压阻式力敏传感器
| 摘自《新星实用传感器应用指南》 吴东鑫主编 |
某些固体材料受到外力的作用后，除了产生变形，其电阻率也要发生变化，这种由于应力的作用而使材料电阻率发生变化的现象称为“压阻效应”。利用压阻效应制成的传感器称为压阻式传感器。
压阻式传感器有两重类型：一种是利用半导体材料的体电阻做成粘贴式应变片，称为半导体应变片，用此应变片制成的传感器称为半导体应变式传感器，另一种是在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成的扩散电阻，以此扩散电阻的传感器称为扩散型压阻传感器。
 半导体应变式传感器
半导体应变式传感器的结构形式基本上与电阻应变片传感器相同，也是由弹性敏感元件等三部分组成，所不同的是应变片的敏感栅是用半导体材料制成。图1所示为半导体应变片典型结构。半导体敏感条1粘贴在由胶膜制成的基底2上，并有引线5将其与联接片4相接，变于焊接外部引线3。
半导体应变片与金属应变片相比，最突出的优点是它的体积小而灵敏高。它的灵敏系数比后者要大几十倍甚至上百倍，输出信号有时不必放大即可直接进行测量记录。此外，半导体应变片横向效应非常小，蠕变和滞后也小，频率响应范围亦很宽，从静态应变至高频动态应变都能测量。由于半导体集成化制造工艺的发展，用此技术与半导体应变片相结合，可以直接制成各种小型和超小型半导体应变式传感器，使测量系统大为简化。
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但是半导体应变片也存在着很大的缺点，它的电阻温度系统要比金属电阻变化大一个数量级，灵敏系数随温度变化较大，它的应变—电阻特性曲线性较大，它的电阻值和灵敏系数分散性较大，不利于选配组合电桥等等。
扩散型压阻式传感器
扩散型压阻传感器的基片是半导体单晶硅。单晶硅是各向异性材料，取向不同时特性不一样。因此必须根据传感器受力变形情况来加工制作扩散硅敏感电阻膜片。
利用半导体压阻效应，可设计成多种类型传感器，其中压力传感器和加速度传感器为压阻式传感器的基本型式。
图2为压阻式压力传感器结构示意图。
硅压阻式压力传感器由外壳、硅膜片（硅杯）和引线等组成。硅膜片是核心部分，其外形状象杯故名硅杯，在硅膜上，用半导体工艺中的扩散掺杂法做成四个相等的电阻，经蒸镀金属电极及连线，接成惠斯登电桥再用压焊法与外引线相连。膜片的一侧是和被测系数相连接的高压腔，另一侧是低压腔，通常和大气相连，也有做成真空的。当膜片两边存在压力差时，膜片发生变形，产生应力应变，从而使扩散电阻的电阻值发生变化，电桥失去平衡，输出相对应的电压，其大小就反映了膜片所受压力差值。
 上一节内容《电阻应变式力敏传感器》
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